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Automatización del control térmico de un sistema de evaporación de películas delgadas utilizando LabView

En este trabajo se presenta la automatización, mediante LabView, de un sistema de evaporación para el crecimiento de películas delgadas semiconductoras por el método Transporte de Vapor en Espacio Reducido Combinada con Evaporación Libre (CSVT-FE, por sus siglas en ingles). Este sistema utiliza como...

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Detalles Bibliográficos
Publicado en:Ingeniería
Autores principales: J. Balderas-Zapata, F. Chalé-Lara, H. Peraza-Vázquez, M. Zapata-Torres
Formato: Artigo
Lenguaje:Espanhol
Publicado: Universidad Autónoma de Yucatán 2008
Materias:
Acceso en línea:https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46712105
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