Automatización del control térmico de un sistema de evaporación de películas delgadas utilizando LabView
En este trabajo se presenta la automatización, mediante LabView, de un sistema de evaporación para el crecimiento de películas delgadas semiconductoras por el método Transporte de Vapor en Espacio Reducido Combinada con Evaporación Libre (CSVT-FE, por sus siglas en ingles). Este sistema utiliza como...
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| Publicat a: | Ingeniería |
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| Autors principals: | , , , |
| Format: | Artigo |
| Idioma: | Espanhol |
| Publicat: |
Universidad Autónoma de Yucatán
2008
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| Accés en línia: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46712105 |
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