Influencia del bombardeo iónico sobre películas delgadas de nitruro de boro cúbico depositadas por pulverización catódica r. f.

Películas delgadas de nitruro de boro cúbico (c-BN) fueron depositadas mediantela técnica del d. c. y r. f. (13,56 MHz) magnetron sputtering multi-blanco, utilizandoun blanco de nitruro de boro hexagonal (h-BN) con una pureza de 99,9%y una mezcla de gas Ar (95%) y N2 (5%). Los recubrimientos se depo...

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Bibliografische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia
Hauptverfasser:	Gilberto Bejarano Gaitán, José Manuel Roque Caicedo, Eval Baca Miranda, Pedro Prieto Pulido, Gustavo Zambrano
Format:	Artigo
Sprache:	Espanhol
Veröffentlicht:	Universidad de Antioquia 2006
Schlagworte:	Ingeniería
Online-Zugang:	https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43003718
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