Author Correction: Precursor-surface interactions revealed during plasma-enhanced atomic layer deposition of metal oxide thin films by in-situ spectroscopic ellipsometry

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:Sci Rep
Main Authors: Kilic, Ufuk, Mock, Alyssa, Sekora, Derek, Gilbert, Simeon, Valloppilly, Shah, Melendez, Giselle, Ianno, Natale, Langell, Marjorie, Schubert, Eva, Schubert, Mathias
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: Nature Publishing Group UK 2021
Assuntos:
Author Correction
Acesso em linha:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7990909/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33762652
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1038/s41598-021-86624-1
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