Đang tải...
Preparation and Properties of Crystalline IGZO Thin Films
IGZO thin films can be used as active layers of thin-film transistors and have been widely studied. However, amorphous indium gallium zinc oxide (IGZO) fabricated at room temperature is vulnerable in subsequent manufacturing processes, such as etching and sputtering; this limits IGZO thin film trans...
Đã lưu trong:
| Xuất bản năm: | Membranes (Basel) |
|---|---|
| Những tác giả chính: | , , , |
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI
2021
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7918925/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/33672860 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/membranes11020134 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|