লোডিং...
Optimization of AIN Composite Structure Based Surface Acoustic Wave Device for Potential Sensing at Extremely High Temperature
A surface acoustic wave (SAW) device with an aluminum nitride (AlN) composite structure of Al(2)O(3)/IDTs/AlN/Metal/Si was proposed for sensing at extreme high-temperature in this work. Optimization allowing determination of optimal design parameters for SAW devices was conducted using the typical c...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রকাশিত: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | , , , , , |
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI
2020
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7435944/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32726902 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s20154160 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|