Ładuje się......

Optical Detection Method for High Aspect Ratio Microstructures

High aspect ratio microstructures (HARMS) are of great importance for many application fields. Many defects are generated during the fabrication processes, especially in line microstructures, and it is necessary to examine the quality of the structures after each process. However, there is no suitab...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Wydane w:Micromachines (Basel)
Główni autorzy: Wei, Wenbin, Hou, Shuangyue, Wu, Zhao, Hu, Yue, Wang, Yi, Chen, Lijuan, Xiong, Ying, Tian, Yangchao, Liu, Gang
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: MDPI 2020
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7142504/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/32168956
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi11030296
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!