Загрузка...
Visible-light silicon nitride waveguide devices and implantable neurophotonic probes on thinned 200 mm silicon wafers
We present passive, visible light silicon nitride waveguides fabricated on ≈ 100 µm thick 200 mm silicon wafers using deep ultraviolet lithography. The best-case propagation losses of single-mode waveguides were ≤ 2.8 dB/cm and ≤ 1.9 dB/cm over continuous wavelength ranges of 466-550 nm and 552-648...
Сохранить в:
| Опубликовано в: : | Opt Express |
|---|---|
| Главные авторы: | , , , , , , , , , , , |
| Формат: | Artigo |
| Язык: | Inglês |
| Опубликовано: |
Optical Society of America
2019
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC7046040/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31878521 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1364/OE.27.037400 |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|