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A Robust Fully-Integrated Digital-Output Inductive CMOS-MEMS Accelerometer with Improved Inductor Quality Factor

This paper presents the design, fabrication, and characterization of an inductive complementary metal oxide semiconductor micro-electromechanical systems (CMOS-MEMS) accelerometer with on-chip digital output based on LC oscillators. While most MEMS accelerometers employ capacitive detection schemes,...

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ग्रंथसूची विवरण
में प्रकाशित:Micromachines (Basel)
मुख्य लेखकों: Chiu, Yi, Liu, Hsuan-Wu, Hong, Hao-Chiao
स्वरूप: Artigo
भाषा:Inglês
प्रकाशित: MDPI 2019
विषय:
ऑनलाइन पहुंच:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6915362/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31752207
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10110792
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