تحميل...

Design and Fabrication of CMOS Microstructures to Locally Synthesize Carbon Nanotubes for Gas Sensing

Carbon nanotubes (CNTs) can be grown locally on custom-designed CMOS microstructures to use them as a sensing material for manufacturing low-cost gas sensors, where CMOS readout circuits are directly integrated. Such a local CNT synthesis process using thermal chemical vapor deposition (CVD) require...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
الحاوية / القاعدة:Sensors (Basel)
المؤلفون الرئيسيون: Roy, Avisek, Azadmehr, Mehdi, Ta, Bao Q., Häfliger, Philipp, Aasmundtveit, Knut E.
التنسيق: Artigo
اللغة:Inglês
منشور في: MDPI 2019
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6806221/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31597303
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s19194340
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!