Ładuje się......
Flow sensor based on the snap-through detection of a curved micromechanical beam
We report on a flow velocity measurement technique based on snap-through detection of an electrostatically actuated, bistable micromechanical beam. We show that induced elecro-thermal Joule heating and the convective air cooling change the beam curvature and consequently the critical snap-through vo...
Zapisane w:
| Wydane w: | J Microelectromech Syst |
|---|---|
| Główni autorzy: | , , , |
| Format: | Artigo |
| Język: | Inglês |
| Wydane: |
2018
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6604643/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31274970 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2018.2868776 |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|