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Exploiting Direct Laser Writing for Hydrogel Integration into Fragile Microelectromechanical Systems

The integration of chemo-responsive hydrogels into fragile microelectromechanical systems (MEMS) with reflective surfaces in the micron to submicron range is presented. Direct laser writing (DLW) for 3D microstructuring of chemoresponsive “smart” hydrogels on sensitive microstructures is demonstrate...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Sensors (Basel)
Hauptverfasser: Menges, Julian, Klingel, Steffen, Oesterschulze, Egbert, Bart, Hans-Jörg
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: MDPI 2019
Schlagworte:
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6603525/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31159238
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s19112494
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