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Precise Layer Control of MoTe(2) by Ozone Treatment

Transition metal dichalcogenides (TMDCs) demonstrate great potential in numerous applications. However, these applications require a precise control of layer thickness at the atomic scale. In this work, we present an in-situ study of the self-limiting oxidation process in MoTe(2) by ozone (O(3)) tre...

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Pubblicato in:Nanomaterials (Basel)
Autori principali: Wang, Qiyuan, Chen, Jing, Zhang, Youwei, Hu, Laigui, Liu, Ran, Cong, Chunxiao, Qiu, Zhi-Jun
Natura: Artigo
Lingua:Inglês
Pubblicazione: MDPI 2019
Soggetti:
Accesso online:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6567192/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/31108879
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/nano9050756
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