تحميل...
Evolution of Si Crystallographic Planes-Etching of Square and Circle Patterns in 25 wt % TMAH
Squares and circles are basic patterns for most mask designs of silicon microdevices. Evolution of etched Si crystallographic planes defined by square and circle patterns in the masking layer is presented and analyzed in this paper. The sides of square patterns in the masking layer are designed alon...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI
2019
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6412402/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30708946 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi10020102 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|