Загрузка...
Determination of the vapour pressure curves and vaporization enthalpies of hafnium alkoxides using thermogravimetric analysis
In order to identify a volatile metallo-organic precursor for the deposition of hafnium oxide (HfO(2)) films for atomic layer deposition (ALD) applications, the evaporative properties of hafnium alkoxides (hafnium isopropoxide, hafnium n-propoxide and hafnium n-butoxide) were investigated using ther...
Сохранить в:
| Опубликовано в: : | R Soc Open Sci |
|---|---|
| Главные авторы: | , , |
| Формат: | Artigo |
| Язык: | Inglês |
| Опубликовано: |
The Royal Society
2019
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6366183/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30800369 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1098/rsos.181193 |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|