Đang tải...

A 5 g Inertial Micro-Switch with Enhanced Threshold Accuracy Using Squeeze-Film Damping

Our previous report based on a 10 g (gravity) silicon-based inertial micro-switch showed that the contact effect between the two electrodes can be improved by squeeze-film damping. As an extended study toward its potential applications, the switch with a large proof mass suspended by four flexible s...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Xuất bản năm:Micromachines (Basel)
Những tác giả chính: Peng, Yingchun, Wu, Guoguo, Pan, Chunpeng, Lv, Cheng, Luo, Tianhong
Định dạng: Artigo
Ngôn ngữ:Inglês
Được phát hành: MDPI 2018
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6266094/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30715038
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi9110539
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!