Electrostatic Comb-Drive Actuator with High In-Plane Translational Velocity

This work reports the design and opto-mechanical characterization of high velocity comb-drive actuators producing in-plane motion and fabricated using the technology of deep reactive ion etching (DRIE) of silicon-on-insulator (SOI) substrate. The actuators drive vertical mirrors acting on optical be...

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Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Micromachines (Basel)
Hauptverfasser: Eltagoury, Yomna M., Soliman, Mostafa, Sabry, Yasser M., Alotaibi, Mohammed J., Khalil, Diaa
Format: Artigo
Sprache:Inglês
Veröffentlicht: MDPI 2016
Schlagworte:
Article
Online Zugang:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6190082/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30404363
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi7100188
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