تحميل...
Electrostatic Comb-Drive Actuator with High In-Plane Translational Velocity
This work reports the design and opto-mechanical characterization of high velocity comb-drive actuators producing in-plane motion and fabricated using the technology of deep reactive ion etching (DRIE) of silicon-on-insulator (SOI) substrate. The actuators drive vertical mirrors acting on optical be...
محفوظ في:
| الحاوية / القاعدة: | Micromachines (Basel) |
|---|---|
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI
2016
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC6190082/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/30404363 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/mi7100188 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|