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Fabrication of a Miniaturized ZnO Nanowire Accelerometer and Its Performance Tests
This paper reports a miniaturized piezoelectric accelerometer suitable for a small haptic actuator array. The accelerometer is made with zinc oxide (ZnO) nanowire (NW) grown on a copper wafer by a hydrothermal process. The size of the accelerometer is 1.5 × 1.5 mm(2), thus fitting the 1.8 × 1.8 mm(2...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artigo |
| Sprache: | Inglês |
| Veröffentlicht: |
MDPI
2016
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5038772/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/27649184 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s16091499 |
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