Загрузка...

Fabrication of a Miniaturized ZnO Nanowire Accelerometer and Its Performance Tests

This paper reports a miniaturized piezoelectric accelerometer suitable for a small haptic actuator array. The accelerometer is made with zinc oxide (ZnO) nanowire (NW) grown on a copper wafer by a hydrothermal process. The size of the accelerometer is 1.5 × 1.5 mm(2), thus fitting the 1.8 × 1.8 mm(2...

Полное описание

Сохранить в:
Библиографические подробности
Опубликовано в: :Sensors (Basel)
Главные авторы: Kim, Hyun Chan, Song, Sangho, Kim, Jaehwan
Формат: Artigo
Язык:Inglês
Опубликовано: MDPI 2016
Предметы:
Online-ссылка:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5038772/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/27649184
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s16091499
Метки: Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!