Загрузка...
Fabrication of a Miniaturized ZnO Nanowire Accelerometer and Its Performance Tests
This paper reports a miniaturized piezoelectric accelerometer suitable for a small haptic actuator array. The accelerometer is made with zinc oxide (ZnO) nanowire (NW) grown on a copper wafer by a hydrothermal process. The size of the accelerometer is 1.5 × 1.5 mm(2), thus fitting the 1.8 × 1.8 mm(2...
Сохранить в:
| Опубликовано в: : | Sensors (Basel) |
|---|---|
| Главные авторы: | , , |
| Формат: | Artigo |
| Язык: | Inglês |
| Опубликовано: |
MDPI
2016
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC5038772/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/27649184 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s16091499 |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|