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Experimental Analysis of Bisbenzocyclobutene Bonded Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers

Experimental measurement results of a 1.75 mm × 1.75 mm footprint area Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) planar array fabricated using a bisbenzocyclobutene (BCB)-based adhesive wafer bonding technique has been presented. The array consists of 40 × 40 square diaphragm CMUT cells...

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ग्रंथसूची विवरण
में प्रकाशित:Sensors (Basel)
मुख्य लेखकों: Manwar, Rayyan, Chowdhury, Sazzadur
स्वरूप: Artigo
भाषा:Inglês
प्रकाशित: MDPI 2016
विषय:
ऑनलाइन पहुंच:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4970013/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/27347955
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s16070959
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