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On the Crystal Structural Control of Sputtered TiO(2) Thin Films

In this study, we focused on the origin on the selective deposition of rutile and anatase TiO(2) thin films during the sputtering process. The observation on microstructural evolution of the TiO(2) films by transmission electron microscopy revealed the coexistence of rutile and anatase TiO(2) phases...

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Detalhes bibliográficos
Publicado no:Nanoscale Res Lett
Main Authors: Jia, Junjun, Yamamoto, Haruka, Okajima, Toshihiro, Shigesato, Yuzo
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: Springer US 2016
Assuntos:
Acesso em linha:https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4936979/
https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/27389344
https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/s11671-016-1531-5
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