লোডিং...
Effect of sulfur hexafluoride gas and post-annealing treatment for inductively coupled plasma etched barium titanate thin films
Aerosol deposition- (AD) derived barium titanate (BTO) micropatterns are etched via SF(6)/O(2)/Ar plasmas using inductively coupled plasma (ICP) etching technology. The reaction mechanisms of the sulfur hexafluoride on BTO thin films and the effects of annealing treatment are verified through X-ray...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , , , , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
Springer
2014
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC4171574/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/25249824 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1186/1556-276X-9-496 |
| ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|