تحميل...
Measurements of True Leak Rates of MEMS Packages
Gas transport mechanisms that characterize the hermetic behavior of MEMS packages are fundamentally different depending upon which sealing materials are used in the packages. In metallic seals, gas transport occurs through a few nanoscale leak channels (gas conduction) that are produced randomly dur...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
Molecular Diversity Preservation International (MDPI)
2012
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC3376579/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/22736994 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.3390/s120303082 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|