تحميل...
Simulation of Thin-Film Damping and Thermal Mechanical Noise Spectra for Advanced Micromachined Microphone Structures
In many micromachined sensors the thin (2–10 μm thick) air film between a compliant diaphragm and backplate electrode plays a dominant role in shaping both the dynamic and thermal noise characteristics of the device. Silicon microphone structures used in grating-based optical-interference microphone...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
2008
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://ncbi.nlm.nih.gov/pmc/articles/PMC2600454/ https://ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/19081811 https://ncbi.nlm.nih.govhttp://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2008.918384 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|