Thin Diamond Film on Silicon Substrates for Pressure Sensor Fabrication

Thin polycrystalline diamond films chemically vapor deposited on thinned silicon substrates were used as membranes for pressure sensor fabrication by means of selective chemical etching of silicon. The sensing element is based on a simple low-finesse Fabry–Pérot (FP) interferometer. The FP cavity is...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Główni autorzy: Stefano Salvatori, Sara Pettinato, Armando Piccardi, Vadim Sedov, Alexey Voronin, Victor Ralchenko
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: MDPI AG 2020-08-01
Seria:Materials
Hasła przedmiotowe:
CVD diamond deposition
polycrystalline diamond films
high-pressure measurement
Fabry–Pérot cavity
harsh environment
Dostęp online:https://www.mdpi.com/1996-1944/13/17/3697
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!

Podobne zapisy