Đang tải...
Design and Simulation of A Novel Piezoelectric AlN-Si Cantilever Gyroscope
A novel design of piezoelectric aluminum nitride (AlN)-Si composite cantilever gyroscope is proposed in this paper. The cantilever is stimulated to oscillate in plane by two inverse voltages which are applied on the two paralleled drive electrodes, respectively. The whole working principles are dedu...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2018-02-01
|
| Loạt: | Micromachines |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://www.mdpi.com/2072-666X/9/2/81 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|