Effects of Negative Bias Voltage and Ratio of Nitrogen and Argon on the Structure and Properties of NbN Coatings Deposited by HiPIMS Deposition System

The NbNx>1 coatings were deposited on Si wafer and SUS 304 stainless steel substrates by a high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) system at various bias voltages and the ratios of nitrogen and argon (N2/Ar). By virtue of electron probe microanalysis (EPMA), X-ray diffraction pattern...

সম্পূর্ণ বিবরণ

সংরক্ষণ করুন:
গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক: Jicheng Ding, Tengfei Zhang, Haijuan Mei, Je Moon Yun, Seong Hee Jeong, Qimin Wang, Kwang Ho Kim
বিন্যাস: Artigo
ভাষা:Inglês
প্রকাশিত: MDPI AG 2017-12-01
মালা:Coatings
বিষয়গুলি:
NbNx&gt
1 coating
HiPIMS
bias voltage
N2/Ar ratio
microstructure
mechanical properties
অনলাইন ব্যবহার করুন:https://www.mdpi.com/2079-6412/8/1/10
ট্যাগগুলো: ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!

অনুরূপ উপাদানগুলি