Đang tải...
Glass Polarization Induced Drift of a Closed-Loop Micro-Accelerometer
The glass polarization effects were introduced in this paper to study the main cause of turn-on drift phenomenon of closed-loop micro-accelerometers. The glass substrate underneath the sensitive silicon structure underwent a polarizing process when the DC bias voltage was applied. The slow polarizin...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
MDPI AG
2018-01-01
|
| Loạt: | Materials |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://www.mdpi.com/1996-1944/11/1/163 |
| Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|