تحميل...
Glass Polarization Induced Drift of a Closed-Loop Micro-Accelerometer
The glass polarization effects were introduced in this paper to study the main cause of turn-on drift phenomenon of closed-loop micro-accelerometers. The glass substrate underneath the sensitive silicon structure underwent a polarizing process when the DC bias voltage was applied. The slow polarizin...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
|---|---|
| التنسيق: | Artigo |
| اللغة: | Inglês |
| منشور في: |
MDPI AG
2018-01-01
|
| سلاسل: | Materials |
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://www.mdpi.com/1996-1944/11/1/163 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|