An Experimental Study on Fabricating an Inverted Mesa-Type Quartz Crystal Resonator Using a Cheap Wet Etching Process

In this study, a miniaturized high fundamental frequency quartz crystal microbalance (QCM) is fabricated for sensor applications using a wet etching technique. The vibration area is reduced in the fabrication of the high frequency QCM with an inverted mesa structure. To reduce the complexity of the...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Główni autorzy: Xuefeng Li, Toshitsugu Ueda, Jing Zhang, Tian Zhang, Jia Huang, Jinxing Liang
Format: Artigo
Język:Inglês
Wydane: MDPI AG 2013-09-01
Seria:Sensors
Hasła przedmiotowe:
quartz crystal microbalance
high fundamental frequency
wet etching process
rectangle
high Q value
Dostęp online:http://www.mdpi.com/1424-8220/13/9/12140
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!

Podobne zapisy