Surface displacements of a PMUT array: Interferometric characterization and mechanical crosstalk evaluation

Piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (PMUTs) enable substantial electrically induced strains at low voltages. In this work a combination of Laser Doppler Vibrometry (LDV) and Mapping Single Beam Laser Interferometry (SBLI) was used to characterize PMUT displacement shapes at frequencie...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	S. Udovenko, R. Graham, P. Tipsawat, M. Pineda, S. Trolier-McKinstry
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	Elsevier 2025-09-01
سلاسل:	Open Ceramics
الموضوعات:	Laser interferometry Laser doppler vibrometry PMUTs MEMS Mechanical crosstalk
الوصول للمادة أونلاين:	http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2666539525000872
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!