Experimental Validation of Ultra-Precision Nanopositioning System
In this paper, the development of an ultra-precision XY nanopositioning stage is presented. For system structure, the actuator decoupled parallel compliant mechanism is designed to have the same dynamics in both x- and y-direction so that the coupling crosstalk between two axes can be minimized. Thr...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
IEEE
2021-01-01
|
| தொடர்: | IEEE Access |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://ieeexplore.ieee.org/document/9399080/ |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|