Comparison of Mg-based liquid metal ion sources for scalable focused-ion-implantation doping of GaN

We compare the suitability of various magnesium-based liquid metal alloy ion sources (LMAISs) for scalable focused-ion-beam (FIB) implantation doping of GaN. We consider GaMg, MgSO4●7H2O, MgZn, AlMg, and AuMgSi alloys. Although issues of oxidation (GaMg), decomposition (MgSO4●7H2O), and excessive va...

תיאור מלא

מידע ביבליוגרפי

Principais autores:	Michael Titze, Aaron Katzenmeyer, Sam Frisone, James A. Ohlhausen, Anthony Flores, DeAnna Campbell, Bingjun Li, Yongqiang Wang, Jung Han, Edward S. Bielejec, Rachel S. Goldman
פורמט:	Artigo
שפה:	Inglês
יצא לאור:	AIP Publishing LLC 2024-04-01
סדרה:	AIP Advances
גישה מקוונת:	http://dx.doi.org/10.1063/5.0198791
תגים:	הוספת תג אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!