Investigasi Pengaruh Daya RF terhadap Morfologi Silicon Nanowire pada Penumbuhan dengan Metode PECVD
Silicon nanowire (SiNW) merupakan material berstruktur nano yang pemanfaatannya cukup luas, diantaranya yaitu sebagai material divais elektronik, sebagai material biosensor, dan sebagai sistem pembawa obat. Penumbuhan SiNW salah satunya dapat dilakukan dengan metode PECVD (plasma-enhanced chemical v...
Tallennettuna:
| Päätekijät: | , |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Artigo |
| Kieli: | Inglês |
| Julkaistu: |
Universitas Negeri Semarang
2019-05-01
|
| Sarja: | Jurnal Fisika |
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://journal.unnes.ac.id/nju/jf/article/view/18811 |
| Tagit: |
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|