Evaluation of the Piezoresistivity of a Thin Film of ZnO Doped with Fluorine and Deposited via the Ultrasonic Spray Pyrolysis Technique for Applications in Micro/Nano-Electromechanical Sensors

In this study, thin films of zinc oxide doped with fluorine ZnO: F were deposited via ultrasonic spray pyrolysis (USP) with an atomic ratio of [F/Zn] in a starting solution of 15 at.% on borosilicate glass coverslips and SiO₂/Si substrates. The structure, electrical resistivity, and thick...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ

Հիմնական հեղինակներ:	Héctor Eduardo Petlacalco Ramírez, Salvador Alcántara Iniesta, Blanca Susana Soto Cruz, Jesús Israel Mejía Silva
Ձևաչափ:	Artigo
Լեզու:	Inglês
Հրապարակվել է:	MDPI AG 2022-11-01
Շարք:	Crystals
Խորագրեր:	thin films zinc oxide piezoresistivity ultrasonic pyrolysis spray fluorine
Առցանց հասանելիություն:	https://www.mdpi.com/2073-4352/12/11/1607
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!