Получение пленок титана методом магнетронного распыления для синтеза пористых пленок диоксида титана
В статье приведены результаты исследования микроструктуры пленок, полученных с помощью магнетронной распылительной системы (МРС), собранной на базе ВУП-4. Разработанная МРС позволяет получать пленки с высокой скоростью осаждения с минимальными видимыми дефектами в структуре. Контроль скорости распы...
保存先:
| 主要な著者: | , , , |
|---|---|
| フォーマット: | Artigo |
| 言語: | Inglês |
| 出版事項: |
Academician Ye.A. Buketov Karaganda University
2015-12-01
|
| シリーズ: | Қарағанды университетінің хабаршысы. Физика сериясы |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://phs.buketov.edu.kz/index.php/physics-vestnik/article/view/89 |
| タグ: |
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|