Получение пленок титана методом магнетронного распыления для синтеза пористых пленок диоксида титана
В статье приведены результаты исследования микроструктуры пленок, полученных с помощью магнетронной распылительной системы (МРС), собранной на базе ВУП-4. Разработанная МРС позволяет получать пленки с высокой скоростью осаждения с минимальными видимыми дефектами в структуре. Контроль скорости распы...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , |
|---|---|
| Format: | Artigo |
| Sprache: | Inglês |
| Veröffentlicht: |
Academician Ye.A. Buketov Karaganda University
2015-12-01
|
| Schriftenreihe: | Қарағанды университетінің хабаршысы. Физика сериясы |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | https://phs.buketov.edu.kz/index.php/physics-vestnik/article/view/89 |
| Tags: |
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!
|