Design of a Shock-Protected Structure for MEMS Gyroscopes over a Full Temperature Range

Impact is the most important factor affecting the reliability of Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) gyroscopes, therefore corresponding reliability design is very essential. This paper proposes a shock-protected structure (SPS) capable of withstanding a full temperature range from −40 °C to 80 °...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ

Հիմնական հեղինակներ:	Yingyu Xu, Jing Lin, Chunhua He, Heng Wu, Qinwen Huang, Guizhen Yan
Ձևաչափ:	Artigo
Լեզու:	Inglês
Հրապարակվել է:	MDPI AG 2024-01-01
Շարք:	Micromachines
Խորագրեր:	MEMS gyroscope shock models reliability design thermal reliability
Առցանց հասանելիություն:	https://www.mdpi.com/2072-666X/15/2/206
Ցուցիչներ:	Ավելացրեք ցուցիչ Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!