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Thin Tin and Tio2 Film Deposition in Glass Samples by Cathodic Cage

Thin nitride and titanium dioxide films were produced using an innovative technique called cathodic cage depositon. Uniformity, three-dimensionality and high rate deposition are some of the advantages of this technique. In this study we discuss the influences of temperature, treatment time and gaseo...

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Principais autores: Rômulo Ribeiro Magalhães de Sousa, Francisco Odolberto de Araújo, Thercio Henrique de Carvalho Costa, Igor Oliveira Nascimento, Francisco Eroni Paes Santos, Clodomiro Alves Júnior, Michelle Cequeira Feitor
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: Associação Brasileira de Metalurgia e Materiais (ABM); Associação Brasileira de Cerâmica (ABC); Associação Brasileira de Polímeros (ABPol) 2015-04-01
coleção:Materials Research
Assuntos:
titanium nitride
cathodic cage
titanium dioxide
thin films and hollow cathode
Acesso em linha:http://www.scielo.br/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S1516-14392015000200347&tlng=en
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