Low-Voltage and High-Reliability RF MEMS Switch with Combined Electrothermal and Electrostatic Actuation
In this paper, we report a novel laterally actuated Radio Frequency (RF) Microelectromechanical Systems (MEMS) switch, which is based on a combination of electrothermal actuation and electrostatic latching hold. The switch takes the advantages of both actuation mechanisms: large actuation force, low...
সংরক্ষণ করুন:
| প্রধান লেখক: | , |
|---|---|
| বিন্যাস: | Artigo |
| ভাষা: | Inglês |
| প্রকাশিত: |
MDPI AG
2021-10-01
|
| মালা: | Micromachines |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://www.mdpi.com/2072-666X/12/10/1237 |
| ট্যাগগুলো: |
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|