Influence of the Rapid Thermal Nitriding Process on the Properties of TiN Thin Films Obtained from TiO2 Sol–Gel Layers
Сохранить в:
| Главные авторы: | , , , , , , , , |
|---|---|
| Формат: | Artigo |
| Язык: | Inglês |
| Опубликовано: |
American Chemical Society
2026-06-01
|
| Серии: | ACS Omega |
| Online-ссылка: | https://doi.org/10.1021/acsomega.5c11587 |
| Метки: |
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
