Low-loss slot waveguides with silicon (111) surfaces realized using anisotropic wet etching
We demonstrate low-loss slot waveguides on silicon-on-insulator (SOI) platform. Waveguides oriented along the (11-2) direction on the Si (110) plane were first fabricated by a standard e-beam lithography and dry etching process. A TMAH based anisotropic wet etching technique was then used to remove...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , , , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
Frontiers Media S.A.
2016-11-01
|
| தொடர்: | Frontiers in Materials |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | http://journal.frontiersin.org/Journal/10.3389/fmats.2016.00051/full |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|