Analysis of Parametric and Subharmonic Excitation in Push-Pull Driven Disk Resonator Gyroscopes

For micro-electromechanical system (MEMS) resonators, once the devices are fabricated and packaged, their intrinsic quality factors (<i>Q</i>) will be fixed and cannot be changed, which seriously limits the further improvement of the resonator’s performance. In this paper, parametric excitation is a...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Kai Wu, Kuo Lu, Qingsong Li, Yongmeng Zhang, Ming Zhuo, Sheng Yu, Xuezhong Wu, Dingbang Xiao
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	MDPI AG 2021-01-01
سلاسل:	Micromachines
الموضوعات:	parametric excitation/amplification quality factor parametric resonance subharmonic excitation push-pull driving method MEMS disk resonator gyroscope
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.mdpi.com/2072-666X/12/1/61
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!