Nonlinear Identification and Decoupling Sliding Mode Control of Macro-Micro Dual-Drive Motion Platform with Mechanical Backlash

A macro–micro dual-drive motion platform is a class of key system utilized in ultra-precision instruments and equipment for realizing ultra-high-precision positioning, which relates to the fields of semiconductor manufacturing, ultra-precision testing and machining, etc. Aiming at the ultra-high-pre...

وصف كامل

التفاصيل البيبلوغرافية

المؤلفون الرئيسيون:	Shuo Kang, Buyang Zhang, Xing Huang, Rijin Zhong, Shengzhao Huang
التنسيق:	Artigo
اللغة:	Inglês
منشور في:	MDPI AG 2023-11-01
سلاسل:	Machines
الموضوعات:	macro–micro dual-drive motion platform quasi-linear backlash model stepwise nonlinear identification decoupling control adaptive integral sliding mode control
الوصول للمادة أونلاين:	https://www.mdpi.com/2075-1702/11/12/1044
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!