System-level modeling with temperature compensation for a CMOS-MEMS monolithic calorimetric flow sensing SoC
Abstract We present a system-level model with an on-chip temperature compensation technique for a CMOS-MEMS monolithic calorimetric flow sensing SoC. The model encompasses mechanical, thermal, and electrical domains to facilitate the co-design of a MEMS sensor and CMOS interface circuits on the EDA...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակներ: | , , , , |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Artigo |
| Լեզու: | Inglês |
| Հրապարակվել է: |
Nature Publishing Group
2025-01-01
|
| Շարք: | Microsystems & Nanoengineering |
| Առցանց հասանելիություն: | https://doi.org/10.1038/s41378-024-00853-8 |
| Ցուցիչներ: |
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|