Through Silicon MEMS Inspection with a Near-Infrared Laser Scanning Setup
The inspection of encapsulated MEMS devices typically relies on destructive methods which compromise the structural integrity of samples. In this work, we present the concept and preliminary experimental validation of a laser scanning setup to non-destructively inspect silicon-encapsulated microstru...
சேமிக்கப்பட்டது:
| முதன்மை ஆசிரியர்கள்: | , , , , , |
|---|---|
| வடிவம்: | Artigo |
| மொழி: | Inglês |
| வெளியிடப்பட்டது: |
MDPI AG
2025-07-01
|
| தொடர்: | Sensors |
| பொருள்கள்: | |
| ஆன்லைன் அணுகல்: | https://www.mdpi.com/1424-8220/25/15/4627 |
| குறிச்சொற்கள்: |
டாக்ஸ் இல்லை, இந்த பதிவுக்கு குறிச்சொல் சேர்க்கும் முதல் நபராக இருங்கள்!
|