Inhomogeneities across boron-doped nanocrystalline diamond films
For large-scale device fabrication, information about film inhomogeneities is crucial for high fabrication yield. In this work, inhomogeneities in two-inch diameter heavily boron-doped nanocrystalline diamond (BNCD) films have been studied. Two BNCD films were grown using chemical vapour deposition...
Đã lưu trong:
| Những tác giả chính: | , , , , , |
|---|---|
| Định dạng: | Artigo |
| Ngôn ngữ: | Inglês |
| Được phát hành: |
Elsevier
2024-06-01
|
| Loạt: | Carbon Trends |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2667056924000348 |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|