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Silicon-On-Nothing Micro-Pirani Gauge for Interior-Pressure Measurement

In the current work, we present a compact and cost effective Pirani gauge based on Silicon-On-Nothing (SON) technology. The proposed design uses an innovative approach of etching the sensing element directly in a crystalline silicon membrane. Such configuration allows pressure dependent heat losses...

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Principais autores: Andrey Kravchenko, Vladislav Komenko, Wolf-Joachim Fischer
Formato: Artigo
Idioma:Inglês
Publicado em: MDPI AG 2018-11-01
coleção:Proceedings
Assuntos:
MEMS
CMOS
Silicon-On-Nothing
Pirani-gauge
process characterization
outgassing
thermal stability
Acesso em linha:https://www.mdpi.com/2504-3900/2/13/1079
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