Desarrollo de Hardware y Software de un Sistema de Espectroscopia de Reflectancia Difusa (DRS) para Medir la Temperatura del Sustrato Semiconductor in-situ

Se desarrolla un sistema de espectroscopia de reflectancia difusa (DRS) para medir la temperatura de materiales semiconductores en vacío ultra alto cámara. DRS es un método óptico para monitorear la temperatura de materiales semiconductores con la temperatura dependiente band gap. El sistema está ca...

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Detalhes bibliográficos

Autor principal:	Faramarz Sahra Gard
Formato:	Artigo
Idioma:	Inglês
Publicado em:	Universidad Tecnologica Nacional 2021-08-01
coleção:	Tecnología y Ciencia
Assuntos:	espectroscopia de reflectancia difusa si-gaas n-gaas medidas de temperatura
Acesso em linha:	https://rtyc.utn.edu.ar/index.php/rtyc/article/view/838
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